Ziel ist die Herstellung und Charakterisierung eines piezoelektrisch betriebenen resonanten Mikrosensors, der zur Erfassung des Umgebungsdrucks verwendet werden kann. Wichtige Technologieschritte werden in den institutseigenen Reinräumen durchgeführt, sodass das praxisnahe Kennenlernen modernster Abscheide- und Strukturierungsmethoden (wie z.B. Aufdampf- und Sputteranlage, CVD-Anlage, Maskenbelichtungsgerät und Aligner, DRIE für Tiefenätzungen mit sehr hohem Aspektverhältnis) für die Mikrosensorik ermöglicht wird. Die Bauelemente werden anschließend mit geeigneten Mikroskopierverfahren (optisch, Rasterelektronenmikroskop) untersucht. Anschließend werden die Mikrostrukturen resonant angeregt, unter einem Mikrosystemanalysator mit Laser-Doppler Vibrometer Modenformen und Resonanzfrequenzen bestimmt und mit theoretischen Modellen verglichen. Die Abhängigkeit des Schwingungsverhaltens vom Umgebungsdruck wird mit Hilfe von zeitabhängigen Impedanzmessungen elektrisch erfasst und mit gängigen theoretischen Ansätzen evaluiert. Theoretische Grundlagen zu den Resonatoren und zur Technologie werden von den Studierenden zu Beginn der VU unter Anleitung erarbeitet und die Ergebnisse in kurzen, mündlichen, Vorträgen präsentiert.
Präsentation aller ISAS-Wahllehrveranstaltungen: Montag, 1 Oktober 2018, 13.00 s.t., Hörsaal EI 4 (Reithoffer HS)
----------------------------------------
Anwesenheitspflicht bei VU 366.074 !
Beschränkung auf ca. 15 Personen
WICHTIG:
Termin zur Einsichtnahme des Einstiegstests:
Montag, 29.10.2018, 14 Uhr in der Bibliothek von ISAS Raum CD0112
Die Note setzt sich zusammen aus der Beurteilung des mündlichen Vortrags, des Einstiegstests sowie der Mitarbeit während der praktischen Tätigkeit im Labor.
Unterlagen zu den mündlichen Vorträgen können bei den Vortragenden entliehen werden.
