366.074 Fachvertiefung - Mikrosensortechnologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2018W, VU, 4.0h, 5.0EC, wird geblockt abgehalten

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 4.0
  • ECTS: 5.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

  • Theorieblock: Eigenständiges Erarbeiten und Präsentieren von Themenblöcken relevant für aktuelle Forschungsgebiete der Mikrosensorik (Technologie, Bauelemente, Infrastruktur).
  • Praxisblock: Unter Anleitung Durchführen von wesentlichen Prozessierungs- und Charakterisierungsverfahren zur Herstellung von Mikrosensoren.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Ziel ist die Herstellung und Charakterisierung eines piezoelektrisch betriebenen resonanten Mikrosensors, der zur Erfassung des Umgebungsdrucks verwendet werden kann. Wichtige Technologieschritte werden in den institutseigenen Reinräumen durchgeführt, sodass das praxisnahe Kennenlernen modernster Abscheide- und Strukturierungsmethoden (wie z.B. Aufdampf- und Sputteranlage, CVD-Anlage, Maskenbelichtungsgerät und Aligner, DRIE für Tiefenätzungen mit sehr hohem Aspektverhältnis) für die Mikrosensorik ermöglicht wird. Die Bauelemente werden anschließend mit geeigneten Mikroskopierverfahren (optisch, Rasterelektronenmikroskop) untersucht. Anschließend werden die Mikrostrukturen resonant angeregt, unter einem Mikrosystemanalysator mit Laser-Doppler Vibrometer Modenformen und Resonanzfrequenzen bestimmt und mit theoretischen Modellen verglichen. Die Abhängigkeit des Schwingungsverhaltens vom Umgebungsdruck wird mit Hilfe von zeitabhängigen Impedanzmessungen elektrisch erfasst und mit gängigen theoretischen Ansätzen evaluiert. Theoretische Grundlagen zu den Resonatoren und zur Technologie werden von den Studierenden zu Beginn der VU unter Anleitung erarbeitet und die Ergebnisse in kurzen, mündlichen, Vorträgen präsentiert.

Weitere Informationen

Präsentation aller ISAS-Wahllehrveranstaltungen: Montag, 1 Oktober 2018, 13.00 s.t., Hörsaal EI 4 (Reithoffer HS)
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Anwesenheitspflicht bei VU 366.074 !
Beschränkung auf ca. 15 Personen

WICHTIG:
Termin zur Einsichtnahme des Einstiegstests:
Montag, 29.10.2018, 14 Uhr in der  Bibliothek von ISAS Raum CD0112

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Fr.11:00 - 12:0005.10.2018 Besprechungsraum ISAS, Gußhausstrasse 27-29, Raum CB0102Vorbesprechung
Do.10:00 - 15:0011.10.2018 Besprechungsraum ISAS, Gußhausstrasse 27-29, Raum CB0102Seminarvorträge
Fr.10:00 - 15:0012.10.2018 Besprechungsraum ISAS, Gußhausstrasse 27-29, Raum CB0102Seminarvorträge
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

Die Note setzt sich zusammen aus der Beurteilung des mündlichen Vortrags, des Einstiegstests sowie der Mitarbeit während der praktischen Tätigkeit im Labor.

Unterlagen zu den mündlichen Vorträgen können bei den Vortragenden entliehen werden.

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
01.10.2018 08:00 05.10.2018 23:59

Curricula

Literatur

  • Veikko Lindroos: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
  • Marc Madou: Fundamentals of Microfabrication

Vorkenntnisse

Der Inhalt der VO Sensorik und Sensorsysteme (366.071) wird vorausgesetzt.

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch