Die Vorlesung teilt sich in 3 Abschnitte auf: im ersten werden Schlüsseltechnologien zur Herstellung von MEMS (micro electromechanical systems) Sensoren kompakt vorgestellt. Diese umfassen PVC (physical vapor deposition) und CVD (chemical vapor deposition) basierte Schichtabscheideverfahren als auch Grundlagen zur optischen Lithographie und zur Ätztechnik. Ergänzend stellen wir die Modellierung von MEMS-Bauelementen mittels der Methode der Finiten Elemente anhand eines Beispiels vor und diskutieren die theoretischen Grundzüge der Methode. Im zweiten Abschnitt werden an Hand von typischen Sensoren für physikalische Messgrößen, wie Druck, Beschleunigung, Drehrate, Fluss und Temperatur, deren grundsätzliches Funktionsprinzip erläutert, unterschiedliche Umsetzungskonzepte bewertet und gängige Anwendungsgebiete aufgezeigt. Im dritten Abschnitt werden ausgewählte Einzelsensoren zu Systemen erweitert und im Umfeld von bekannten technischen Systemen, wie dem Automobil oder dem Flugzeug vorgestellt. Auch aktuelle Aspekte, wie die lokale Energieversorgung von Sensorknoten aus der Umgebung (energy harvesting), werden angesprochen. Es ist ein zentrales Ziel der Vorlesung, ein grundsätzliches Verständnis von der Realisierung bis zur Systemintegration von ausgewählten, mikrotechnisch hergestellten Sensorelementen und -systemen zu schaffen. Die Vorstellung und Diskussion ausgewählter Beispiele zu aktuellen Forschungsthemen aus dem Bereich Sensorik runden die Vorlesung ab.
WICHTIG:
Dieses Semester wird die Vorlesung auf Grund der Covid-19 Situation in einem Distance Learning Format angeboten.
Termin: jeweils Mittwoch von 8-10 Uhr
Um mögliche Änderungen, Neuinformationen etc. an alle Studenten weiterleiten zu können, bitten wir wieder um Anmeldung in TISS. Es gibt natürlich keine Beschränkungen der Teilnehmerzahl.
Die Prüfungen im WS werden wieder ONLINE und schriftlich stattfinden.
Hier ist der Zoom link zur Vorlesung
Thema: LV366071 - Energieautarke Sensorik
Uhrzeit: 19.Jan..2022 08:00 AM Amsterdam, Berlin, Rom, Stockholm, Wien
Zoom-Meeting beitreten
https://tuwien.zoom.us/j/94827845453?pwd=MDRNc2o3Y1A3cHRaQUVqMC9pNklqdz09
Vorlesungsunterlagen stehen in TISS zur Verfügung.
Weiterführende Literatur:
U. Mescheder:
Mikrosystemtechnik
Konzept und Anwendungen
Teubner-Verlag, Stuttgart
ISBN 3-519-06256-9
G. Gerlach, W. Dötzel
Grundlagen der Mikrosystemtechnik
Hanser Verlag, München
ISBN 3-446-18395-7
W. Menz, J. Mohr:
Mikrosystemtechnik für Ingenieure
VCH, Weinheim
ISBN: 3-527-294055-8
M. Madou:
Fundamentals of Microfabrication
CRC Press, Boca Raton
ISBN: 0-8493-9451-1