366.071 Sensorik und Sensorsysteme
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2018W, VO, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VO Vorlesung

Ziele der Lehrveranstaltung

Sensoren und intelligente Sensorsysteme sind heute aus unserem alltäglichen Leben nicht mehr wegzudenken, da sie fast jeden Lebens- und Wirtschaftsbereich durchdrungen haben. Als Paradebeispiel dient typischerweise das Automobil. Insbesondere die hohe Dichte an unterschiedlichen Funktionalitäten und die kompakte Ausführungsform von gängigen, elektronischen Geräten, wie Videokameras oder Smart Phones, hängt jedoch stark von der Integration von mikrotechnisch hergestellten Sensorelementen ab. Starke Zuwachsraten für integrierte Sensorsysteme gibt es auch im Bereich der Automatisierung oder der Robotik, und auch in Nischenmärkten wie dem Luft- und Raumfahrtsektor.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Die Vorlesung teilt sich in 3 Abschnitte auf: im ersten werden Schlüsseltechnologien zur Herstellung von MEMS (micro electromechanical systems) Sensoren kompakt vorgestellt. Diese umfassen PVC (physical vapor deposition) und CVD (chemical vapor deposition) basierte Schichtabscheideverfahren als auch Grundlagen zur optischen Lithographie und zur Ätztechnik. Im zweiten Abschnitt werden an Hand von typischen Sensoren für physikalische Messgrößen, wie Druck, Beschleunigung, Drehrate, Fluss und Temperatur, deren grundsätzliches Funktionsprinzip erläutert, unterschiedliche Umsetzungskonzepte bewertet und gängige Anwendungsgebiete aufgezeigt. Im dritten Abschnitt werden ausgewählte Einzelsensoren zu Systemen erweitert und im Umfeld von bekannten technischen Systemen, wie dem Automobil oder dem Flugzeug vorgestellt. Auch aktuelle Aspekte, wie die lokale Energieversorgung von Sensorknoten aus der Umgebung (energy harvesting), werden angesprochen. Es ist ein zentrales Ziel der Vorlesung, ein grundsätzliches Verständnis von der Realisierung bis zur Systemintegration von ausgewählten, mikrotechnisch hergestellten Sensorelementen und -systemen zu schaffen. Die Vorstellung und Diskussion ausgewählter Beispiele zu aktuellen Forschungsthemen aus dem Bereich Sensorik runden die Vorlesung ab.

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mi.08:00 - 10:0003.10.2018 - 30.01.2019EI 3 Sahulka HS 366071
Sensorik und Sensorsysteme - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Mi.03.10.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.10.10.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.17.10.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.24.10.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.31.10.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.07.11.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.14.11.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.21.11.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.28.11.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.05.12.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.12.12.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung abgesagt
Mi.19.12.201808:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.09.01.201908:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.16.01.201908:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.23.01.201908:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Vorlesung
Mi.30.01.201908:00 - 10:00EI 3 Sahulka HS Hauptprüfung WS 2018

Prüfungen

TagZeitDatumOrtPrüfungsmodusAnmeldefristAnmeldungPrüfung
Mi.14:00 - 16:0025.09.2019EI 8 Pötzl HS schriftlich18.06.2019 08:00 - 23.09.2019 23:59in TISSPrüfung WS 2018
Mi.14:00 - 16:0011.12.2019EI 8 Pötzl HS schriftlich18.06.2019 08:00 - 09.12.2019 23:59in TISSPrüfung WS 2018
Mi.08:00 - 10:0029.01.2020 EI 3 Sahulka HSschriftlich01.10.2019 08:00 - 27.01.2020 23:59in TISSHauptprüfung WS 2019
Mi.13:00 - 15:0025.03.2020EI 2 Pichelmayer HS schriftlich01.10.2019 08:00 - 23.03.2020 23:59in TISSPrüfung WS 2019
Mi.13:00 - 15:0013.05.2020EI 2 Pichelmayer HS schriftlich01.10.2019 08:00 - 11.05.2020 23:59in TISSPrüfung WS 2019
Mi.13:00 - 15:0017.06.2020EI 2 Pichelmayer HS schriftlich01.10.2019 08:00 - 15.06.2020 23:59in TISSPrüfung WS 2019

LVA-Anmeldung

Nicht erforderlich

Curricula

Literatur

Die Vortragsfolien stehen als Handouts zur Verfügung.

Weiterführende Literatur:

U. Mescheder:
    Mikrosystemtechnik
    Konzept und Anwendungen
    Teubner-Verlag, Stuttgart
    ISBN 3-519-06256-9


G. Gerlach, W. Dötzel
    Grundlagen der Mikrosystemtechnik
    Hanser Verlag, München
    ISBN 3-446-18395-7

W. Menz, J. Mohr:
    Mikrosystemtechnik für Ingenieure
    VCH, Weinheim
    ISBN: 3-527-294055-8

M. Madou:
    Fundamentals of Microfabrication
    CRC Press, Boca Raton
    ISBN: 0-8493-9451-1

Sprache

Deutsch