Vertiefte Kenntnisse der Materialien, der Schlüsselprozesse und der Technologiefamilien für die Fertigung moderner Bauelemente und Komponenten der Nanoelektronik. Verständnis der physikalischen, chemischen und mathematischen Grundlagen aktueller Fragestellungen und Forschungsthemen.
Neue Materialien, Prozesse und Bauelemente aus Sicht der ITRS-RoadmapEinführung in Computational Materials Science mit Anwendungen in der HalbleitertechnologieEigene Forschungsergebnisse (Nanomagnetologik, FIB-Simulation)
Mündliche Prüfung