362.151 Halbleiter-Prozess-Modellierung
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019W, VU, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...
...Anwendungen von energetischen Ionenstrahlen in der Nanostrukturierung zu beschreiben.
...Modelle zur Beschreibung der dabei auftretenden Phänomene zu beschreiben.
...Simulationsmethoden für diese Phänomene auszuwählen.
...Molekulardynamik-Simulationen durchzuführen und zu interpretieren.

Inhalt der Lehrveranstaltung

1. Nanostrukturierung mit Ionenstrahlen
2. Molekulardynamik
3. Interatomare Potentiale
4. Mechanische Spannungen
5. Binary-Collision-Simulationen, Kopplung mit Kontinuum-Mechanik
6. Multiscale-Modellierung am Beispiel der Simulation von Bubbles in Si
7. Spontane Musterbildung durch Ionenbeschuss
Etwa die Hälfte der Lehrveranstaltung entfällt auf die Übungen, in denen Molekulardynamik-Simulationen mit LAMMPS durchgeführt werden.

Methoden

Vorlesungen, Simulationsprojekt mit dem Molekulardynamik-Simulator LAMMPS.

Prüfungsmodus

Mündlich

Weitere Informationen

Die Termine werden in der Vorbesprechung vereinbart. Der Übungsteil kann nach freier Zeiteinteilung absolviert werden kann.

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Do.13:00 - 14:0003.10.2019Seminarraum 362 - 1 Vorbesprechung
Do.11:00 - 12:0010.10.2019Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.11:00 - 13:0017.10.2019 - 05.12.2019Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Halbleiter-Prozess-Modellierung - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Do.03.10.201913:00 - 14:00Seminarraum 362 - 1 Vorbesprechung
Do.10.10.201911:00 - 12:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.17.10.201911:00 - 13:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.24.10.201911:00 - 13:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.31.10.201911:00 - 13:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.07.11.201911:00 - 13:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.14.11.201911:00 - 13:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.21.11.201911:00 - 13:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.28.11.201911:00 - 13:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung
Do.05.12.201911:00 - 13:00Besprechungsraum 362 - 2 Vorlesung

Leistungsnachweis

Durchführung der Simulationsaufgabe und Präsentation der Ergebnisse; mündliche Prüfung.

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
01.09.2019 00:00 03.10.2019 23:59

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
066 508 Mikroelektronik und Photonik

Literatur

 

 

Vorkenntnisse

Die Lehrveranstaltung ergänzt den Teil "Computational Materials Science" der VU 362.152 Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik. Die beiden Lehrveranstaltungen können in beliebiger Reihenfolge absolviert werden.

Sprache

Deutsch