362.151 Halbleiter-Prozess-Modellierung
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2016W, VU, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Verständnis von Simulationsverfahren der Computational Materials Science und deren praktische Anwendung am Beispiel der Nanostrukturierung mit Hilfe von Ionenstrahlen

Inhalt der Lehrveranstaltung

1. Nanostrukturierung mit Ionenstrahlen
2. Molekulardynamik
3. Interatomare Potentiale
4. Mechanische Spannungen
5. Binary-Collision-Simulationen, Kopplung mit Kontinuum-Mechanik
6. Multiscale-Modellierung am Beispiel der Simulation von Bubbles in Si
Etwa die Hälfte der Lehrveranstaltung entfällt auf die Übungen, in denen Molekulardynamik-Simulationen mit LAMMPS durchgeführt werden.

Weitere Informationen

Die Termine werden in der Vorbesprechung vereinbart. Der Übungsteil kann nach freier Zeiteinteilung absolviert werden kann.

Vortragende Personen

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Do.13:15 - 14:0006.10.2016Seminarraum 362 Vorbesprechung
Do.15:00 - 18:0013.10.2016 - 24.11.2016Seminarraum 362/1 Hobler
Halbleiter-Prozess-Modellierung - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Do.06.10.201613:15 - 14:00Seminarraum 362 Vorbesprechung
Do.13.10.201615:00 - 18:00Seminarraum 362/1 Hobler
Do.20.10.201615:00 - 18:00Seminarraum 362/1 Hobler
Do.27.10.201615:00 - 18:00Seminarraum 362/1 Hobler
Do.03.11.201615:00 - 18:00Seminarraum 362/1 Hobler
Do.10.11.201615:00 - 18:00Seminarraum 362/1 Hobler
Do.17.11.201615:00 - 18:00Seminarraum 362/1 Hobler
Do.24.11.201615:00 - 18:00Seminarraum 362/1 Hobler

Leistungsnachweis

Präsentation der Simulationsergebnisse, mündliche Prüfung.

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
04.09.2016 00:00 07.12.2016 23:59

Curricula

StudienkennzahlVerbindlichkeitSemesterAnm.Bed.Info
066 508 Mikroelektronik und Photonik Keine Angabe

Literatur

 

 

Vorkenntnisse

Die Lehrveranstaltung ergänzt den Teil "Computational Materials Science" der VU 362.152 Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik. Die beiden Lehrveranstaltungen können in beliebiger Reihenfolge absolviert werden.

Sprache

Deutsch