1. Nanostrukturierung mit Ionenstrahlen
2. Molekulardynamik
3. Interatomare Potentiale
4. Mechanische Spannungen
5. Binary-Collision-Simulationen, Kopplung mit Kontinuum-Mechanik
6. Multiscale-Modellierung am Beispiel der Simulation von Bubbles in Si
Etwa die Hälfte der Lehrveranstaltung entfällt auf die Übungen, in denen Molekulardynamik-Simulationen mit LAMMPS durchgeführt werden.
Die Lehrveranstaltung ergänzt den Teil "Computational Materials Science" der VU 362.152 Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik. Die beiden Lehrveranstaltungen können in beliebiger Reihenfolge absolviert werden.