362.149 Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019S, VU, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Ziel der LVA ist es, dem Studenten ein Verständnis für den Ablauf chemischer Prozesse der Mikro- und Nanotechnologie zu vermitteln.

1) Wiederholung von von chemischen Grundkenntnissen
2) Chemische Vorgänge bei Lithografie, Abscheide- und Ätzprozessen
3) Moleküleigenschaften und Löslichkeit anhand von Beispielen aus der Prozesstechnologie
4) Praktische Tips zum sicheren Umgang mit Chemikalien

Es werden grundlegende Kenntnisse der Chemie (Verbindungsklassen, Stöchiometrische Zusammensetzung, Säuren/Basen, RedOx-Reaktionen, Thermodynamik, Reaktionskinetik, Funktionalität organischer Gruppen, Nomenklatur organischer Verbindungen) vermittelt und anhand von Beispielen aus der Mikrostrukturierung (Ätzen, Lithographie, Reinigung mit Lösungsmitteln, Dauer von Reaktionen, Mischungsverhältnisse von 2 Reaktionspartnern) in Übungsbeispielen angewandt.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik, Herstellprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen.  Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase

Weitere Informationen

 Lehrveranstaltung wird im SS 2019 als Blockveranstaltung im Maerz 2019 abgehalten.

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mo.15:00 - 18:0004.03.2019 - 24.06.2019Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
15:00 - 18:0005.03.2019 - 08.03.2019Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.15:00 - 18:0015.03.2019Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Mo.04.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Di.05.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mi.06.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Do.07.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.08.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mo.11.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Fr.15.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mo.18.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.25.03.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.01.04.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.08.04.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.29.04.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.06.05.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.13.05.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.20.05.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.27.05.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.03.06.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.17.06.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie
Mo.24.06.201915:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie

Leistungsnachweis

Mündliche Prüfung - Anmeldung für vorgegebene Termine via TISS.

Zusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich - Terminvereinbarungen über silvia.greil@tuwien.ac.at

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
28.01.2019 10:00 08.03.2019 18:00 03.06.2019 10:00

Anmeldemodalitäten:

LVA-Unterlagen sind nur bei TISS-Anmeldung zugänglich

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Sprache

bei Bedarf in Englisch