362.149 Processing Chemistry for Micro- and Nanoelectronics
This course is in all assigned curricula part of the STEOP.
This course is in at least 1 assigned curriculum part of the STEOP.

2018W, VU, 2.0h, 3.0EC, to be held in blocked form

Properties

  • Semester hours: 2.0
  • Credits: 3.0
  • Type: VU Lecture and Exercise

Aim of course

The aim of this course is to give the students an understanding of chemical processes in micro-and nanotechnology

1) repetition of basic knowledge of chemistry
2) chemical processes in lithography, deposition and etching processes
3) molecular properties and solubility, using examples from the process technology
4) Practical advice on the safe handling of chemicals

This lecture will provide a basic knowledge of chemistry (classes of compounds, stoichiometric composition, acids / bases, Redox reactions, thermodynamics, kinetics, functionality organic groups, nomenclature of organic compounds)  and will apply this knowledge on examples from the field of micro- and nanostructuring (lithograph, solvent cleaning, duration of reactions, mixing ratios of 2 reactants).

Subject of course

Concepts in chemistry (pH, electrochemistry, reaction mechanisms,.....)Thermodynamics, kinetics, Fabrication processes (lithography, RIE, CVD,...) requiring chemistry in Micro- and Nanoengineering Safety with chemicals (acids, solvents, gases)mittel, Gase

Additional information

The lecture "Process Chemistry" will be held as blocked Course in WS2018/19 on the following days:

Mo 01.10 - Fr. 12.10.2018 daily 15-18h

** ATTENTION Please register for LVA in TISS ***

Location:  NanoCenter - Building CH
                 Gusshausstrasse 25a
                 Seminar room 2nd floor

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Lecturers

Institute

Course dates

DayTimeDateLocationDescription
15:00 - 18:0001.10.2018 - 19.10.2018Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Processing Chemistry for Micro- and Nanoelectronics - Single appointments
DayDateTimeLocationDescription
Mon01.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Tue02.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Wed03.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Thu04.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fri05.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mon08.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Tue09.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Wed10.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Thu11.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fri12.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Mon15.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Tue16.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Wed17.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Thu18.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fri19.10.201815:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Course is held blocked

Examination modalities

Oral exam - Registration for stated dates via TISS.

Additional exam dates maybe arranged upon request - Contact silvia.greil@tuwien.ac.at

Course registration

Begin End Deregistration end
01.09.2018 09:00 12.10.2018 14:00 02.11.2018 00:00

Registration modalities:

Please register in TISS for better manegability.

Curricula

Literature

No lecture notes are available.

Previous knowledge

Knowledge of Lithography, CVD, RIE

Preceding courses

Accompanying courses

Continuative courses

Language

if required in English