Ziel der LVA ist es, dem Studenten ein Verständnis für den Ablauf chemischer Prozesse der Mikro- und Nanotechnologie zu vermitteln.
1) Wiederholung von von chemischen Grundkenntnissen
2) Chemische Vorgänge bei Lithografie, Abscheide- und Ätzprozessen
3) Moleküleigenschaften und Löslichkeit anhand von Beispielen aus der Prozesstechnologie
4) Praktische Tips zum sicheren Umgang mit Chemikalien
Es werden grundlegende Kenntnisse der Chemie (Verbindungsklassen, Stöchiometrische Zusammensetzung, Säuren/Basen, RedOx-Reaktionen, Thermodynamik, Reaktionskinetik, Funktionalität organischer Gruppen, Nomenklatur organischer Verbindungen) vermittelt und anhand von Beispielen aus der Mikrostrukturierung (Ätzen, Lithographie, Reinigung mit Lösungsmitteln, Dauer von Reaktionen, Mischungsverhältnisse von 2 Reaktionspartnern) in Übungsbeispielen angewandt.
Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik, Herstellprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen. Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase
Die Vorlesungsübung „Prozesschemie“ wird im WS2017/18 an folgenden Tagen als BLOCKVORLESUNG abgehalten:
Mo 02.10 13h Vorbesprechung
Do 05.10 13:30-18h
Fr 06.10 13:30-18h
Mo 09.10 13-18h
Di 10.10 13-18h
Mi 10.10 13-18h
Do 12.10 13:30-18h
Fr 13.10 13-18h
Mo 16.10 13-18h (Reservetermin)
Di 17.10 13-18h
Mi 18.10 13-18h (Reservetermin / erstmöglicher Prüfungstermin)
Do. 19.10 13-18h (Reservetermin)
Beachten Sie:
Di 03. Okt. 2017 – keine Vorlesung!
Mi 04. Okt. 2017 – keine Vorlesung!
Do 12. Okt. 2017 – verspäteter Beginn: 13:30 (Nach Vorbesprechung Prof. Hobler)
Die Termine sind Rahmenzeiten und werden in Absprache mit den Teilnehmern unter Berücksichtigung Ihrere Vorlesungs- und Übungszeiten noch verkürzt.
** ACHTUNG NEU: Bitte um LVA-Anmeldung im TISS ***
Zwecks besserer Administrierbarkeit wird nun um Anmeldung im TISS gebeten.
Location: Institut f Festkörperelektronik, Floragasse 7,
Kleiner Seminarraum 362 / 2 - 1.Stock
Bitte Taschenrechner mitnehmen!
Mündliche Prüfung - Anmeldung für vorgegebene Termine via TISS.
Zusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich - Terminvereinbarungen über silvia.greil@tuwien.ac.at
