Ziel der LVA ist es, dem Studenten ein Verständnis für den Ablauf chemischer Prozesse der Mikro- und Nanotechnologie zu vermitteln.
1) Wiederholung von von chemischen Grundkenntnissen
2) Chemische Vorgänge bei Lithografie, Abscheide- und Ätzprozessen
3) Moleküleigenschaften und Löslichkeit anhand von Beispielen aus der Prozesstechnologie
4) Praktische Tips zum sicheren Umgang mit Chemikalien
Es werden grundlegende Kenntnisse der Chemie (Verbindungsklassen, Stöchiometrische Zusammensetzung, Säuren/Basen, RedOx-Reaktionen, Thermodynamik, Reaktionskinetik, Funktionalität organischer Gruppen, Nomenklatur organischer Verbindungen) vermittelt und anhand von Beispielen aus der Mikrostrukturierung (Ätzen, Lithographie, Reinigung mit Lösungsmitteln, Dauer von Reaktionen, Mischungsverhältnisse von 2 Reaktionspartnern) in Übungsbeispielen angewandt.
Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik, Herstellprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen. Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase
Im SS2017 startet die VU ab13.März 2017.
Wegen exakter Terminverinbarung wählen Sie bitte bis Fr 10.3.2017 - 12:00 alle für Sie geeigneten Terminoptionen (Mehrfachmeldungen explizit gewünscht). Ich werde die meistgeählte Option als verbindliche Vorlesungszeit danach mitteilen.
An Terminauswahl teilnehmen unter:
https://freeonlinesurveys.com/s/gWuiuiNI
Mündliche Prüfung - Anmeldung für vorgegebene Termine via TISS.
Zusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich - Terminvereinbarungen über silvia.greil@tuwien.ac.at
