362.149 Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2016W, VU, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Ziel der LVA ist es, dem Studenten ein Verständnis für den Ablauf chemischer Prozesse der Mikro- und Nanotechnologie zu vermitteln.

1) Wiederholung von von chemischen Grundkenntnissen
2) Chemische Vorgänge bei Lithografie, Abscheide- und Ätzprozessen
3) Moleküleigenschaften und Löslichkeit anhand von Beispielen aus der Prozesstechnologie
4) Praktische Tips zum sicheren Umgang mit Chemikalien

Es werden grundlegende Kenntnisse der Chemie (Verbindungsklassen, Stöchiometrische Zusammensetzung, Säuren/Basen, RedOx-Reaktionen, Thermodynamik, Reaktionskinetik, Funktionalität organischer Gruppen, Nomenklatur organischer Verbindungen) vermittelt und anhand von Beispielen aus der Mikrostrukturierung (Ätzen, Lithographie, Reinigung mit Lösungsmitteln, Dauer von Reaktionen, Mischungsverhältnisse von 2 Reaktionspartnern) in Übungsbeispielen angewandt.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik, Herstellprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen.  Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase

Weitere Informationen

*** UPDATE for WS 2016/17  ***

Vorbesprechung am 20.Okt 2016 ; 13h im Sem II @ FKE, Floragasse 7

Wegen eines Konferenzaufenthaltes startet die LVA erst fruehestens im Nov. 2016
Die Vo wird im WS in 6 Bloecken a 2x2 h abgehalten.

Individuelle Terminwuensche bitte bis 19. Oktober an
silvia.greil@tuwien.ac.at
mit Betreff: VU-Chemie Termine".
Nach Moeglichkeit versuche ich, darauf einzugehen.

Arbeitsvorschlag: Mi und/oder Fr von 14-18h

 

** ACHTUNG NEU: Bitte um LVA-Anmeldung im TISS ***

Zwecks besserer Administrierbarkeit wird nun um Anmeldung im TISS gebeten.

Location:  Institut f Festkörperelektronik, Floragasse 7,
                  Seminarraum 362 / 2 - 1.Stock

 

Vortragende Personen

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
15:15 - 17:4503.10.2016 - 11.10.2016Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie - Beginn: 15:30
Fr.14:00 - 16:3014.10.2016Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.14:00 - 16:3021.10.2016Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.14:00 - 16:3028.10.2016Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.14:00 - 16:3004.11.2016Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.14:00 - 16:3011.11.2016Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.14:00 - 16:3018.11.2016Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Mo.03.10.201615:15 - 17:45Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie - Beginn: 15:30
Di.04.10.201615:15 - 17:45Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie - Beginn: 15:30
Mi.05.10.201615:15 - 17:45Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie - Beginn: 15:30
Do.06.10.201615:15 - 17:45Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie - Beginn: 15:30
Fr.07.10.201615:15 - 17:45Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie - Beginn: 15:30
Mo.10.10.201615:15 - 17:45Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie - Beginn: 15:30
Di.11.10.201615:15 - 17:45Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie - Beginn: 15:30
Fr.14.10.201614:00 - 16:30Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.21.10.201614:00 - 16:30Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.28.10.201614:00 - 16:30Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.04.11.201614:00 - 16:30Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.11.11.201614:00 - 16:30Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Fr.18.11.201614:00 - 16:30Seminarraum 362 362.149: Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik

Leistungsnachweis

Mündliche Prüfung - Anmeldung für vorgegebene Termine via TISS.

Zusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich - Terminvereinbarungen über silvia.greil@tuwien.ac.at

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
05.09.2016 14:00 05.11.2016 14:00 04.11.2016 00:00

Anmeldemodalitäten

Bitte im TISS anmelden zur besseren Planung und Administrierbarkeit.

Curricula

StudienkennzahlVerbindlichkeitSemesterAnm.Bed.Info
066 434 Materialwissenschaften Keine Angabe
066 508 Mikroelektronik und Photonik Keine Angabe

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Sprache

bei Bedarf in Englisch