362.147 Nanostrukturierung niedrigdimensionaler Systeme
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019W, VU, 2.0h, 3.0EC, wird geblockt abgehalten

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage modernste Strukturierungsverfahren für die Herstellung ultradünner Schichten, Nanodrähten und Quantenpunkten zu verstehen. Des Weiteren werden die wichtigsten analytischen Verfahren zur Charakterisierung von Nanostrukturen und ihrer physikalischen Eigenschaften und Funktionalitäten vorgestellt.

 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Lehrinhalt dieser Vorlesung ist die Kenntnis der Verfahren zur Herstellung und Charakterisierung nanoskaliger niedrigdimensionaler Systeme. Diese können bekannte physikalische Phänomene ausnutzen, die durch die Nanostrukturierung verbessert werden, oder ganz neue Prinzipien anwenden. Nach einer Vorstellung der grundlegenden Eigenschaften von Nanostrukturen und Skalierungseffekten folgt eine Beschreibung häufig verwendeter Techniken für die Dünnschichtabscheidung, inklusive thermischen Aufdampfens, Sputterns und der chemische Gasphasenabscheidung. Für die laterale Strukturierung werden modernste optische Verfahren, die Elektronenstrahllithographie und Nanoimprinttechnologien beschrieben. Prinzipieller Aufbau und die Besonderheiten der Prozesse und Anlagen werden diskutiert. Abschließend werden vor allem chemischen Herstellungsmethoden und Prinzipien der Selbst-Organisation erklärt. 

Methoden

Vorlesung und Übungen

Prüfungsmodus

Mündlich

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Do.13:00 - 13:3017.10.2019Besprechungsraum 362 - 2 Vorbesprechung
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

 Mündliche Prüfung

 

LVA-Anmeldung

Nicht erforderlich

Curricula

Literatur

Handouts der Vorlesungsfolien werden im Laufe der Lehrveranstaltung in TISS zur Verfügung gestellt.

Sprache

Deutsch