Wichtige Ziele der Nanowissenschaften sind neue Materialien und Bauelemente. Diese können bekannte physikalische Phänomene ausnutzen, die durch die Nanostrukturierung verbessert werden, oder ganz neue Prinzipien anwenden. Inhalte der Vorlesung, die durch Übung begleitet wird, betreffen die verschiedenen Verfahren zur Nanostrukturierung niedrigdimensionaler Systeme. Hierbei werden neben Herstellungsverfahren von Nanopartikeln, Strukturierungs- und Beschichtungsverfahren vorgestellt. Des Weiteren werden die wichtigsten analytischer Verfahren zur Charakterisierung von Nanostrukturen und ihrer physikalischen Eigenschaften und Funktionalitäten vorgestellt.

Lehrinhalt dieser Vorlesung ist die Kenntnis der Verfahren zur Herstellung und Charakterisierung nanoskaliger niedrigdimensionaler Systeme. Nach einer Vorstellung der grundlegenden Eigenschaften von Nanostrukturen und Skalierungseffekten folgt eine Beschreibung häufig verwendeter Techniken für die Dünnschichtabscheidung, inklusive thermischen Aufdampfens, Sputterns und der chemische Gasphasenabscheidung. Für die laterale Strukturierung werden modernste optische Verfahren, die Elektronenstrahllithographie und Nanoimprinttechnologien beschrieben. Prinzipieller Aufbau und die Besonderheiten der Prozesse und Anlagen werden diskutiert. Abschließend werden vor allem chemischen Herstellungsmethoden und Prinzipien der Selbst-Organisation erklärt. 

Mündliche Prüfung nach Ende der Lehrveranstaltung