362.145 Heterostrukturen für Nanoelektronik und Photonik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019S, VU, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Kennen und Vergleichen der industriell genutzten Abscheideverfahren zur Herstellung einkristalliner Schichten. Physikalisches Verständnis des Schichtwachstums von Nanostrukturen. Abschätzung, welche Materialsysteme technisch herstellbar sind (prinzipiell, mit welcher Methode, welche Qualität, Aufwand etc.). Geläufiger Umgang mit den folgenden Sachverhalten: Einkristallherstellung und Analyse, Filmherstellung, Dotierung (Dotierungsmethoden), Vakuumtechnik, Materialquellen, "in situ" und "ex situ" Analyse, mögliche Bauelemente.

 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Einführung in die Physik verschiedener Abscheidetechniken zur Herstellung einkristalliner Filme: Erklärung und Vergleich industriell angewandter Herstellungstechniken und Charakterisierungstechniken zur Erzeugung von epitaktischen Schichten (Dielektrika, Halbleiter, Metalle/Supraleiter): Beschreibung verschiedener Wachstumsverfahren (MBE, MO-MBE, ALE, CVD, MO-CVD, Laser-CVD, PA-CVD, LPE, etc.) und der dazu notwendigen Ausstattung (Vakuumtechnik, Materialquellen, Substratvorbehandlung etc.): Dotierungsmethoden, "in situ" und "ex situ" Analysemethoden (Zusammensetzung, Reinheit, Strukturanalyse, Ladungsträger, optische und elektrische Eigenschaften): Herstellungsmethoden von eindimensionalen Strukturen durch verschiedene Wachstumstechniken (Quantendrähte durch Überwachsen etc.): Diskussion möglicher Anwendung neuester Materialsysteme.

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Fr.11:00 - 13:0003.05.2019 - 28.06.2019Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics
Heterostrukturen für Nanoelektronik und Photonik - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Fr.03.05.201911:00 - 13:00Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics
Fr.10.05.201911:00 - 13:00Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics
Fr.17.05.201911:00 - 13:00Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics
Fr.24.05.201911:00 - 13:00Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics
Fr.07.06.201911:00 - 13:00Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics
Fr.14.06.201911:00 - 13:00Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics
Fr.21.06.201911:00 - 13:00Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics
Fr.28.06.201911:00 - 13:00Seminarraum 362 - 1 362.145 Heterostructures for Nanoelectronics and Photonics

LVA-Anmeldung

Nicht erforderlich

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Sprache

Englisch