Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...
alle wesentlichen Herstellprozesse der Mikro- & Nanostrukturierung zu benennen, und die Prinzipien zu erklären. Die Studierenden lernen, verschiedene Herstellprozesse gegenüberzudtellen und die Vor- und Nachteile kritisch gegeneinander abzuwägen. Diese LVA verleiht Studierenden das Verständnis durch Kombination der erlernten Herstellprozesse selbständig Prozessabfolgen für die komplette Fertigung von Bauelemente der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik zu entwickeln.
Umfassende Kenntnisse der Prozesse und Technologien, die die Basis für die moderne Nanoelektronik, Nanophotonik und Mikrosystemtechnik bilden. Element- und Verbindungshalbleiter der Gruppen IV und III-V, sowie Oxidkeramiken sind die Schwerpunkte auf der Materialseite.
Prozesstechnologien für die Herstellung von mikro- und nanoskaligen, 1-, 2- und 3-dimensionalen Strukturen, Komponenten und Bauelementen. Schwerpunkte hier sind die Schlüsselprozesse inklusive Schichtstrukturierung mit Photo- und Elektronenstrahl-Lithographie sowie Ätztechniken mit HF-Plasmaprozessen, selektive Wachstumsprozesse für (quasi-) 1-, 2- dimensionalen Strukturen wie Nanodots und Nanowires, und in-situ und ex-situ Charakterisierungsverfahren.
Vortrag unterstützt mit ppt-Folien sowie TafelzeichnungenErzählungen aus der Praxis der industriellen FertigungFallbeispiele zur AnwendungGemeinsame Erarbeitung von Prozessabfolgen (Prozessintegration) zur Herstellung eines mikroelektronischen bzw mikromechanischen Bauelements
2021 wird die Vorlesung als ONLINE-Vorlesung in ZOOM abgehalten 07. Dez 2021 – Uli Schmid & Heinz Wanzenboeck (Prozessintegration)
Thema: LV Prozesstechnologien / MEMS Technologieplattformen Uhrzeit: 7.Dez..2021 01:00 PM Amsterdam, Berlin, Rom, Stockholm, Wien
Zoom-Meeting beitreten https://tuwien.zoom.us/j/99890554384?pwd=cHRwaXdpY3g5cThpMG1CUW5LUlNEZz09 Meeting-ID: 998 9055 4384 Passwort: Sqz7bgDc
7. Dec 2021 - Part Wanzenboeckhttps://tuwien.zoom.us/j/96575198092?pwd=aEMwZ3hkeFNPc1hyTUx6NC9JVmtsQT09Meeting-ID: 965 7519 8092Passwort: meet4micro
14. Dez 2021 – Borislav Hinkov (Gottfried Strasser)21. Dez 2021 – Weihnachtsferien (18. Dez 2021- 07. Jan 2022)11. Jan 2022 – Borislav Hinkov (Gottfried Strasser)18. Jan 2022 – Borislav Hinkov (Gottfried Strasser)25. Jan 2022 – Borislav Hinkov (Gottfried Strasser)
##########################Presence lectures in Pre-CoViD days were: 13:00 - 15:00Besprechungraum ISAS (CB0102)Gebäudeteil Favoritenstrasse - 2. Stock
Mündliche Prüfung
Die Prüfung über den vollen Vorlesungsinhalt kann bei jedem der Vortragenden abgelegt werden - Anmeldung beim gewählten Prüfer.
Prüfer Wanzenböck:Anmeldung für vorgegebene Termine via TISSZusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich -
Prüfer Ulrich Schmid:Termine nach individueller Vereinbarung
Prüfer Gottfried Strasser:Termine nach individueller Vereinbarung