Kenntnis der Schlüsselprozesse und der Technologiefamilien für die Fertigung moderner Strukturen, Komponenten und Bauelemente der Nanoelektronik, Photonik und Mikrosystemtechnik.
Kenntnis der zugrundeliegenden physikalischen, chemischen und mathematischen Eigenschaften sowie der physikalischen, chemischen und elektrischen Charakterisierungsmethodiken.
Verständnis des physikalischen, chemischen und mathematischen Hintergrundes von ingenieurwissenschaftlichen Fragestellungen im Bereich der Technologien für die Nanoelektronik, Photonik und Mikrosystemtechnik, der physikalisch¿chemischen Zusammenhänge bei der Prozessierung, sowie deren Bedeutung für mögliche Bauelemente-Konzepte und Bauelemente-Architekturen.
Beherrschung der physikalischen, chemischen und mathematischen Methoden und Grundlagen der zur Verfügung stehenden Technologiefamilien, die notwendig sind für die Konzeption und die Herstellung elektronischer, photonischer und sensorischaktuatorischer
Strukturen, Komponenten und Bauelemente.
Umfassende Kenntnisse der Prozesse und Technologien, die die Basis für die moderne Nanoelektronik, Nanophotonik und Mikrosystemtechnik bilden. Element- und Verbindungshalbleiter der Gruppen IV und III-V, sowie Oxidkeramiken sind die Schwerpunkte auf der Materialseite.
Prozesstechnologien für die Herstellung von mikro- und nanoskaligen, 1-, 2- und 3-dimensionalen Strukturen, Komponenten und Bauelementen. Schwerpunkte hier sind die Schlüsselprozesse inklusive Schichtstrukturierung mit Photo- und Elektronenstrahl-Lithographie sowie Ätztechniken mit HF-Plasmaprozessen, selektive Wachstumsprozesse für (quasi-) 1-, 2- dimensionalen Strukturen wie Nanodots und Nanowires, und in-situ und ex-situ
Charakterisierungsverfahren.
Mündliche Prüfung
Die Prüfung über den vollen Vorlesungsinhalt kann bei jedem der Vortragenden abgelegt werden - Anmeldung beim gewählten Prüfer.
Prüfer Wanzenböck:
Anmeldung für vorgegebene Termine via TISS
Zusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich -
Terminvereinbarungen über alexandra.linster@tuwien.ac.at
