362.144 Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2017W, VO, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VO Vorlesung

Ziele der Lehrveranstaltung

Kenntnis der Schlüsselprozesse und der Technologiefamilien für die Fertigung moderner Strukturen, Komponenten und Bauelemente der Nanoelektronik, Photonik und Mikrosystemtechnik.

Kenntnis der zugrundeliegenden physikalischen, chemischen und mathematischen Eigenschaften sowie der physikalischen, chemischen und elektrischen Charakterisierungsmethodiken.

Verständnis des physikalischen, chemischen und mathematischen Hintergrundes von ingenieurwissenschaftlichen Fragestellungen im Bereich der  Technologien für die Nanoelektronik, Photonik und Mikrosystemtechnik, der physikalisch¿chemischen Zusammenhänge bei der Prozessierung, sowie deren Bedeutung für mögliche Bauelemente-Konzepte und Bauelemente-Architekturen.
Beherrschung der physikalischen, chemischen und mathematischen Methoden und Grundlagen der zur Verfügung stehenden Technologiefamilien, die notwendig sind für die Konzeption und die Herstellung elektronischer, photonischer und sensorischaktuatorischer
Strukturen, Komponenten und Bauelemente.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Umfassende Kenntnisse der Prozesse und Technologien, die die Basis für die moderne Nanoelektronik, Nanophotonik und Mikrosystemtechnik bilden. Element- und Verbindungshalbleiter der Gruppen IV und III-V, sowie Oxidkeramiken sind die Schwerpunkte auf der Materialseite.

Prozesstechnologien für die Herstellung von mikro- und nanoskaligen, 1-, 2- und 3-dimensionalen Strukturen, Komponenten und Bauelementen. Schwerpunkte hier sind die Schlüsselprozesse inklusive Schichtstrukturierung mit Photo- und Elektronenstrahl-Lithographie sowie Ätztechniken mit HF-Plasmaprozessen, selektive Wachstumsprozesse für (quasi-) 1-, 2- dimensionalen Strukturen wie Nanodots und Nanowires, und in-situ und ex-situ 
Charakterisierungsverfahren.

Weitere Informationen

LVA Termine

Tag Zeit Datum Ort Beschreibung Freigabe

Di 13:45 - 15:15 03.10.2017 - 23.01.2018 Seminarraum 366-MST Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Di.13:45 - 15:1503.10.2017 - 23.01.2018Seminarraum 366-MST Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik
Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik - Einzeltermine
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Leistungsnachweis

Mündliche Prüfung

Die Prüfung über den vollen Vorlesungsinhalt kann bei jedem der Vortragenden abgelegt werden - Anmeldung beim gewählten Prüfer.

Prüfer Wanzenböck:

Anmeldung für vorgegebene Termine via TISS
Zusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich -
Terminvereinbarungen über alexandra.linster@tuwien.ac.at

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
01.09.2017 09:00 02.02.2018 12:00

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Sprache

bei Bedarf in Englisch