Kenntnis der Materialien für die Fertigung moderner Strukturen, Komponenten und Bauelemente der Nanoelektronik, Photonik und Mikrosystemtechnik, die Kenntnis der zugrundeliegenden physikalischen, chemischen und mathematischen Eigenschaften sowie der physikalischen, chemischen und elektrischen Charakterisierungsmethodiken.

Verständnis des physikalischen, chemischen und mathematischen Hintergrundes von ingenieurwissenschaftlichen Fragestellungen im Bereich der Materialien für die
Nanoelektronik, Photonik und Mikrosystemtechnik, sowie deren Bedeutung für mögliche Bauelemente-Konzepte und Bauelemente-Architekturen.

Beherrschung der physikalischen, chemischen und mathematischen Methoden und Grundlagen der Materialwissenschaften, die notwendig sind für die Konzeption und die Herstellung elektronischer, photonischer und sensorischaktuatorischer Strukturen, Komponenten und Bauelemente.

Umfassende Kenntnisse der Materialien, die die Basis für die moderne Nanoelektronik, Nanophotonik und Mikrosystemtechnik bilden. Element- und Verbindungshalbleiter der Gruppen IV und III-V, sowie Oxidkeramiken sind die Schwerpunkte auf der Materialseite. 1-, 2- und 3-dimensionalen Strukturen, Schlüsselprozesse Schichterzeugung inklusive MBE und ALD, selektive Wachstumsprozesse für (quasi-) 1-, 2- dimensionalen Strukturen wie Nanodots und Nanowires, und in-situ und ex-situ Material-Charakterisierungsverfahren.

Für den Vorlesungsteil von Prof. Keplinger wird ein Skriptum angeboten

Erhältlich im Sekretariat des inst. E366 / Gußhausstraße 27-29