362.136 Fachvertiefung - Mikroelektronik-Bauelemente, Labor
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2021S, VU, 4.0h, 5.0EC
TUWEL

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 4.0
  • ECTS: 5.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung
  • Format der Abhaltung: Distance Learning

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

sich  in ausgewählte Prozesse der Halbleitertechnologie und in die Messtechniken zur Charakterisierung von Halbleiterstrukturen bis in den Nanometerbereich einzuarbeiten.

 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Prozesse in der Halbleitertechnologie (Lithographie, Strukturierung, Metallisierung etc.)

Charakterisierungsmessungen an Halbleiterstrukturen und Bauelementen .

Ortsaufgelöste Messtechnik in Nanometerbereich  (AFM, STM)

Elektrische Charakterisierung elektronischer und optoelektronischer Bauelemente.

 

Methoden

Zunächst findet ein 6-wöchiger Vorlesungsblock statt, in dem Ihnen die notwendigen Grundlagen vermittelt werden, anschließend gibt es einen Test. Danach wird eine ganztägige Laborübung in 3er-Gruppen durchgeführt. Es stehen derzeit 3 verschiedene Experimente zur Verfügung. Sie können Ihr Lieblingsexperiment frei wählen , aber es gilt das Motto, "wer zuerst kommt, mahlt zuerst".

 

Prüfungsmodus

Schriftlich und Mündlich

Vortragende Personen

Institut

Leistungsnachweis

Ein Protokoll muss erstellt werden.

Prüfungen

TagZeitDatumOrtPrüfungsmodusAnmeldefristAnmeldungPrüfung
Mo. - 07.06.2021schriftlich22.02.2021 00:00 - 06.06.2021 23:59in TISSPrüfung 2021

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
06.03.2021 00:00 30.04.2021 00:00 05.07.2021 00:00

Gruppen-Anmeldung

GruppeAnmeldung VonBis
Gruppe 122.03.2021 00:00
Gruppe 222.03.2021 00:00
Gruppe 322.03.2021 00:00
Gruppe 422.03.2021 00:00
Gruppe 622.03.2021 00:00
Gruppe 722.03.2021 00:00
Gruppe 822.03.2021 00:00
Gruppe 922.03.2021 00:00
Gruppe 1022.03.2021 00:00
Gruppe 1109.04.2021 00:00
Sammelgruppe 004.03.2021 00:00

Curricula

Literatur

Die Vorlesungsunterlagen (Skriptum, Handouts der Folien) weden kurzfristig zur Verfügung gestellt.

Vorkenntnisse

Der positive Abschluss der Vorlesung "Halbleiterphysik" ist dringend empfohlen, denn ohne diese Vorkenntnisse vestehen Sie den Vorlesungsblock in dieser LVA nicht.

.Der positive Abschluss der Laborübung "Technische Elektronik"  ist ebenfalls dringend empfohlen, denn die Arbeiten im Labor erfordern Kenntnisse in "LABVIEW"

 

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch