362.136 Fachvertiefung - Mikroelektronik-Bauelemente, Labor
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2020S, VU, 4.0h, 5.0EC
TUWEL

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 4.0
  • ECTS: 5.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

sich  in ausgewählte Prozesse der Halbleitertechnologie und in die Messtechniken zur Charakterisierung von Halbleiterstrukturen bis in den Nanometerbereich einzuarbeiten.

 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Prozesse in der Halbleitertechnologie (Lithographie, Strukturierung, Metallisierung etc.)

Charakterisierungsmessungen an Halbleiterstrukturen und Bauelementen .

Ortsaufgelöste Messtechnik in Nanometerbereich  (AFM, STM)

Elektrische Charakterisierung elektronischer und optoelektronischer Bauelemente.

 

Methoden

Zunächst findet ein 6-wöchiger Vorlesungsblock statt, in dem Ihnen die notwendigen Grundlagen vermittelt werden, anschließend gibt es einen Test. Danach wird eine ganztägige Laborübung in 3er-Gruppen durchgeführt. Es stehen derzeit 3 verschiedene Experimente zur Verfügung. Sie können Ihr Lieblingsexperiment frei wählen , aber es gilt das Motto, "wer zuerst kommt, mahlt zuerst".

 

Prüfungsmodus

Schriftlich und Mündlich

Vortragende

Institut

Leistungsnachweis

Ein Protokoll muss erstellt werden.

LVA-Anmeldung

Die Anmeldung erfolgt über Gruppen-Anmeldung.

Gruppen-Anmeldung

GruppeAnmeldung VonBis
Gruppe 110.03.2020 00:0011.03.2020 00:00
Gruppe 210.03.2020 00:0011.03.2020 00:00
Gruppe 310.03.2020 00:0011.03.2020 00:00
Gruppe 406.03.2020 00:0011.03.2020 00:00
Gruppe 509.03.2020 00:0011.03.2020 00:00
Gruppe 609.03.2020 00:0011.03.2020 00:00
Gruppe L101.05.2020 00:00
GruppeL201.05.2020 00:00

Curricula

Literatur

Die Vorlesungsunterlagen (Skriptum, Handouts der Folien) weden kurzfristig zur Verfügung gestellt.

Vorkenntnisse

Der positive Abschluss der Vorlesung "Halbleiterphysik" ist dringend empfohlen, denn ohne diese Vorkenntnisse vestehen Sie den Vorlesungsblock in dieser LVA nicht.

.Der positive Abschluss der Laborübung "Technische Elektronik"  ist ebenfalls dringend empfohlen, denn die Arbeiten im Labor erfordern Kenntnisse in "LABVIEW"

 

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch