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362.121 Projektarbeit Halbleiterphysik für Physiker
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019S, PA, 10.0h, 10.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 10.0
  • ECTS: 10.0
  • Typ: PA Projektarbeit

Ziele der Lehrveranstaltung

Arbeiten im Reinraum; Erlernen der Strukturierungstechniken von Halbleitern, Metallisierung, CVD-Abscheideverfahren, Sputtertechniken; elektrische , optische Charakterisierung.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Bei diesem Praktikum werden Moderne Halbleiter- Bauelemente ausgehend vom Halbleiter-Substrat hergestellt und anschließend bezüglicher ihrer elektronischen Eigenschaften charakterisiert. Die Studenten werden in den Forschungsbetrieb integriert und mit einem Teil der Strukturierungs bzw. Charakterisierungs-Techniken betraut. Dadurch gewinnt man Einblick in die neuesten Technologien und die dabei auftretenden Probleme. Da sich der zeitliche Ablauf bei der Prozessierung von Bauelementen nach der Verfügbarkeit der vorhandenen Geräte richtet, kann dieses Praktikum nur als Blockveranstaltung mit ganztägiger Durchführung abgehalten werden. Praktische Durchführung der Probenpräparation im Reinraum des MISZ. Dabei werden sämtliche Prozeßschritte der modernen Halbleitertechnologie durchgeführt und Bauelemente hergestellt, die anschließend meßtechnisch charakterisiert werden. Alternativ dazu sind auch Simulationsarbeiten aus dem Bereich der Halbleiterphysik und Halbleitertechnologie möglich.

Vortragende

Institut

LVA-Anmeldung

Nicht erforderlich

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
710 FW Freie Wahlfächer - Elektrotechnik

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Sprache

Deutsch