Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

... experimentelle Forschungsarbeiten an Halbleitermaterialien/-prozessen/-Bauelementen unter Anleitung durchzuführen
... ausgewählte Fertigungsmethoden für Halbleiterbauelemente zu verstehen und experimentell anzuwenden.
... ausgewählte Analysenmethoden für Halbleiterbauelemente zu verstehen und experimentelle Daten auszuwerten.
... die angewandten Methoden zu kombinieren und selbständig weiterzuentwickeln.
... Anforderungen an Diplomarbeiten im Bereich der Halbleitertechnologie zu verstehen
... eine qualifizierte Entscheidung zur Weiterarbeit an dem begonnenen Forschungsthema im Rahmen einer MasterArbeit zu treffen

In diesem Praktikum werden die Studenten mit den Schlüsseltechnologien der modernen Siliziumtechnik bekannt gemacht. Nach einer Sicherheitseinschulung werden die Praktikumsteilnehmer in das Arbeiten unter Reinraumbedingungen eingeführt und lernen den Umgang mit Medien und Maschinen der Siliziumtechnologie kennen. Daneben erwerben sie die notwendigen Grundkenntnisse zur Charakterisierung von Materialien der Halbleitertechnik und der elektrischen Charakterisierung von elektronischen Bauelementen auf Chip- bzw. Waferebene. Den Abschluss der Arbeiten bildet eine Praktikumsarbeit, die ein in sich geschlossenes Thema zum Ziel hat in dem die erworbenen Kenntnisee eingesetzt werden können.

persönliches 1:1 Gespräche, selbständiges Literaturstudium, 1:1 Gerätetraining, selbständige experimentelle Arbeiten, Verfassen eines wissenschaftlichen Berichts

mündliche Zwischenberichte zur praktischen Arbeite, schriftlicher Abschlussbericht

Grundlagen der Halbleiterphysik, der Halbleiterfertigung und der elektrischen Messtechnik sollten bekannt sein.