362.091 Projektarbeit aus Halbleiterphysik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2018W, PR, 8.0h, 8.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 8.0
  • ECTS: 8.0
  • Typ: PR Projekt

Ziele der Lehrveranstaltung

Arbeiten im Reinraum; Erlernen der Strukturierungstechniken von Halbleitern, Metallisierung, CVD-Abscheideverfahren, Sputtertechniken; elektrische , optische Charakterisierung.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Bei diesem Praktikum werden Moderne Halbleiter- Bauelemente ausgehend vom Halbleiter-Substrat hergestellt und anschließend bezüglicher ihrer elektronischen Eigenschaften charakterisiert. Die Studenten werden in den Forschungsbetrieb integriert und mit einem Teil der Strukturierungs bzw. Charakterisierungs-Techniken betraut. Dadurch gewinnt man Einblick in die neuesten Technologien und die dabei auftretenden Probleme. Da sich der zeitliche Ablauf bei der Prozessierung von Bauelementen nach der Verfügbarkeit der vorhandenen Geräte richtet, kann dieses Praktikum nur als Blockveranstaltung mit ganztägiger Durchführung abgehalten werden. Praktische Durchführung der Probenpräparation im Reinraum des MISZ. Dabei werden sämtliche Prozeßschritte der modernen Halbleitertechnologie durchgeführt und Bauelemente hergestellt, die anschließend meßtechnisch charakterisiert werden.

Vortragende

Institut

LVA-Anmeldung

Anmeldemodalitäten:

Ort: Anmeldung per email an Jürgen Smoliner

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
786 710 Elektrotechnik

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Sprache

Deutsch