362.090 Technologie und Werkstoffe, Vertiefung Abgesagt
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2014S, VU, 4.0h, 7.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 4.0
  • ECTS: 7.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Vertieftes Verständnis und praktische Erfahrung im Bereich der Halbleitertechnologie.

Inhalt der Lehrveranstaltung

In einem einführenden Vorlesungsteil werden die Grundlagen des MOSFET, die Herstellungsschritte, die Bedienung der Fertigungsanlagen und die Rolle der Simulation umrissen. Im Hauptteil werden in Kleingruppen MOSFETs mit den Anlagen des FKE im Reinraum hergestellt. Anschließend werden an einem Halbleiter-Teststand die elektrischen Kenngrößen des fertigen Transistors bestimmt. Prozess- und Device-Simulationen werden mit Industrie-Standard TCAD-Tools durchgeführt.

Weitere Informationen

Der Inhalt der Lehrveranstaltung des Wintersemesters ("Nanotechnologie") wird jetzt in den Lehrveranstaltungen "Materialien, Prozesse und Technologien der Mikrolektronik", "Materialien, Prozesse und Technologien der Photonik" und "Halbleiter-Prozess-Modellierung" angeboten. Der Inhalt der Lehrveranstaltung des Sommersemesters ("MOSFET") wird nicht mehr angeboten.

Vortragende

Institut

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
17.02.2014 00:00 21.03.2014 23:59

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
066 434 Materialwissenschaften
066 439 Mikroelektronik

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch