Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

- die Grundprozesse und Prozessmodule der Halbleiterfertigung zu Beschreiben.

- die Integrationsflüsse für die Halbleiterfertigung integrierter Schaltungen zu erklären.

- die aktuelle Entwicklungen und Trends der Technologie und Skalierung der modernen Halbleiter Mikro- und Nanoelektronik zu beschreiben.

*** Anmeldung ist offen ***

Diese VU richtet sich an Studentinnen und Studenten, die einen Einstieg in die Technologie der modernen integrierten Schaltungen  suchen bzw. ein ensprechendes Hintergrundwissen aufbauen wollen. Dabei soll eine durchgehende Verbindung zwischen der Halbleiterphysik, den Halbleiterbauelementen und der Fertigung modernster integrierter Schaltungen hergestellt werden. In der Vorlesung werden alle wichtigen Grundprozesse der Halbleitermikroelektronik vorgestellt und detailliert beschrieben. Besonders eingegangen wird auf die ´Einzelprozesse´ der Halbleiterfertigung, auf dessen zusammenführung in ´Prozessmodulen´ so wie auf die ´Prozessintegration´ für die Herstellung modernster CMOS-, Bipolar- und Leistungselektronik Schaltungen. Der Vorlesungsinhalt wird an Hand konkreter Beispiele aus der industriellen Praxis erläutert.

Die VU findet im WS 2022/23 in Präsenz statt.

* Die Folien werden vorab über TUWEL abrufbar sein

Der Übungsteil umfasst die Eigenständige Literaturrecherche zu modernen Integrationsmethoden sowie eine Präsentation und Diskussion der Recherche. Die Bewertung der Übung fließt zu 25% in die Endnote ein.

TUWEL Link:

https://tuwel.tuwien.ac.at/course/view.php?idnumber=362088-2022W

Mündliche Prüfung, Bewertung der Übung (Literaturrecherche und Vortrag)

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Grundvesrtändnis elektronischer Halbleiterbaueleymenten z.B. (362.072)