Das Lehrziel ist die Vermittlung der Technologie der integrierten Schaltungen. Dabei wird ausgehend von den Einzelprozessen die Prozessarchitektur der einzelnen IC-Technologiefamilien ebenso behandelt wie die technischen und elektrischen Designrules der einzelnen Bauelemente. Damit wird zukünftigen Entwicklungsingenieuren ebenso wie zukünftigen Schaltungsentwicklern die Schnittstelle zwischen Technologie und Schaltungstechnik nahegebracht und die Möglichkeit eines optimalen Austausches geschaffen.
Diese VU richtet sich an Studentinnen und Studenten, die einen Einstieg in die Technologie der integrierten Schaltungen suchen bzw. ein ensprechendes Hintergrundwissen aufbauen wollen. Dabei soll eine durchgehende Verbindung zwischen der Halbleiterphysik, den Halbleiterbauelementen und der Fertigung integrierter Schaltungen hergestellt werden. Der Vorlesungstoff wird an Hand konkreter Beispiele aus der industriellen Praxis erläutert.
Nicht erforderlich