Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...
die grundlegenden Methoden der Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken für Halbleiterbauelemnte zu verstehen.
durch eigene experimentelle Tätigkeiten den das Prinzip der Techniken zu erfassen.
selbständig Mikroelektronik-Experimente nach vorheriger Einschulung durchzuführen
Physikern und Chemikern bietet dieser Laborkurs die Möglichkeit erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Technik der Mikrofabrikation zu gewinnen.
Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung
Arbeitsprogramm der Gruppen WEBER:
Ein Schwerpunkt der Arbeitsgruppe sind neue, rekonfigurierbare Bauelemente mit programmierbarer Funktionalität, wie z.B. eine Transistorstruktur mit mehreren Gate-Elektroden, die, je nach Beschaltung der Steuerelektroden, als Transistor, AND-Logik oder Inverter etc. arbeiten kann, Details finden Sie hier:
https://www.tuwien.at/etit/fke/forschung/nanoelektronische-bauelemente/rekonfigurierbare-elektronik
Der Ablauf des Labors richtet sich nach den aktuellen Bedürfnissen der laufenden Forschungsarbeiten, und reicht von (heiklen) Charakterisierungsmessungen mit modernsten Geräten bis hin zu Tätigkeiten im Reinraum. Was im Rahmen des Praktikums gerade im Detail gemacht werden kann, erfahren Sie per email von masiar.sistani@tuwien.ac.at.
Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN: Auf Anfrage
Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich
Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie
Dauer: 3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn: nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe: max. 3 Studenten
Note: auf Basis eines Laborberichtes
