Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

.... eigenständig Prozessschirtte der Mikrofabrikation zu Herstellung einfacher Bauelemente zu kombinieren
...  die grundlegenden Prozesse der Herstellung von integrierten Schaltungen bzw. MEMS Bauteilen anzuwenden.
...  die geeigneten Analysemethoden (zB Atomkraftmikroskopie oder Rasterelektronenmikroskopie) zur Problemlösung auszuwählen

Die dabei erworbenen Kenntnisse können idalerweise in einer längeren Projektarbeitet 362.092 vertieft werden.

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung

Arbeitsprogramm der Gruppen WEBER: 

Elektrische Charakterisierung von nanostrukturen. Details auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN:  Auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK

Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

 Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:       auf Basis eines Laborberichtes

...Lehrende, die an diesem Termin nicht teilnehmen können, finden unter dem Link https://owncloud.tuwien.ac.at/index.php/s/9Dki75euZK8prTM einen Leitfaden mit Schritt-für-Schritt Anleitung sowie zwei Präsentationen die einerseits die strategischen Überlegungen und andererseits die zugrundeliegenden hochschuldidaktischen Grundlagen darstellen. Weiters wurden auch in TISS Hilfetexte und Formulierungshilfen für Sie implementiert. ….

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.

Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

an             alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder          heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

oder          masiar.sistani@tuwien.ac.at     

NEU ab SS 2018:
TISS-Registrierung für Kurse von Prof. Wanzenböck!
Kursinhalt: Optische Lithographie, Sputtern, Trockenätzen
Vorkenntnisse in Prozesstechnologie sind eine Voraussetzung.
Bitte registrieren Sie sich via TISS
Achtung: Kursdaten können sich bei unerwarteten Ereignissen ändern.

Laborprotokoll

Anmeldung per email an:

alois.lugstein@tuwien.ac.at             oder 

heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Anmeldeemail mit Überschrift "Anmeldung 362.084 Labor Mikroelektronik"
+ Name, + Matrikelnummer +Zeitrahmen f Labor

Empfohlen in Kombination mit
362.144  VO Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik
362.152 VU Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik
362.146 VU Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik