Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...
die grundlegenden Methoden der Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken für Halbleiterbauelemnte zu verstehen.
durch eigene experimentelle Tätigkeiten den das Prinzip der Techniken zu erfassen.
selbständig Mikroelektronik-Experimente nach vorheriger Einschulung durchzuführen
Physikern und Chemikern bietet dieser Laborkurs die Möglichkeit erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Technik der Mikrofabrikation zu gewinnen.
Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung
Arbeitsprogramm der Gruppe WEBER:
Elektrische Charakterisierung von nanostrukturen. Details auf Anfrage
Arbeitsprogramm der Gruppe LUGSTEIN:
Forschungsgeleitete Untersuchungen von ultraskalierten elektronsichen, optischen und plasmonischen Bauteilen.
Das genau Arbeitsprogramm ist abhängig von den aktuellen Forschungsarbeiten der Arbeitsgruppe.
Arbeitsprogramm der Gruppe WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich
Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie
Dauer: 3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn: nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe: max. 3 Studenten
Note: auf Basis eines Laborberichtes
