362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2021W, UE, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: UE Übung
  • Format der Abhaltung: Präsenz

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

die grundlegenden Methoden der Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken für Halbleiterbauelemnte zu verstehen.

durch eigene experimentelle Tätigkeiten den das Prinzip der Techniken zu erfassen.

selbständig Mikroelektronik-Experimente nach vorheriger Einschulung durchzuführen

Physikern und Chemikern bietet dieser Laborkurs die Möglichkeit erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Technik der Mikrofabrikation zu gewinnen. 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung

Arbeitsprogramm der Gruppe WEBER: 

Elektrische Charakterisierung von nanostrukturen. Details auf Anfrage

 

Arbeitsprogramm der Gruppe LUGSTEIN:  

Forschungsgeleitete Untersuchungen von ultraskalierten elektronsichen, optischen und plasmonischen Bauteilen.

Das genau Arbeitsprogramm ist abhängig von den aktuellen Forschungsarbeiten der Arbeitsgruppe.

 

Arbeitsprogramm der Gruppe WANZENBOECK

Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Methoden

 Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:      auf Basis eines Laborberichtes

 

Prüfungsmodus

Schriftlich

Weitere Informationen

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.
Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

Anmeldeemail mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084)  an

an      alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder   heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

oder  masiar.sistani@tuwien.ac.at

Vortragende Personen

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mo.14:00 - 14:3004.10.2021 https://tuwien.zoom.us/j/94561979696Laborpraktikum - Wanzenböck - VORBESPRECHUNG

Leistungsnachweis

Laborprotokoll

 

Gruppentermine

GruppeTagZeitDatumOrtBeschreibung
Group A1 (Wanzenboeck)09:30 - 18:0016.11.2021 - 18.11.2021 CHEG - Nano-Center - Foyer EG >> ReinRaum362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie Group A1 (Wanzenboeck)
Group A2 (Wanzenboeck)09:00 - 18:0020.12.2021 - 22.12.2021 CHEG - Nano-Center - Foyer EG362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie Group A2 (Wanzenboeck)
Gruppe A3 (Wanzenboeck)11:00 - 19:0020.01.2022 - 21.01.2022Besprechungsraum 362 - 2 362.084 UE Labor Mikroelektronik- Technologie - Gruppe A3 (Wanzenboeck)

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
15.09.2021 09:00 01.12.2021 21:00 01.12.2021 21:00

Anmeldemodalitäten

Institut für Festkörperelektronik, Floragasse 7 - 1 Stock, Seminarraum 1 Ort: Vorbesprechung

Gruppen-Anmeldung

GruppeAnmeldung VonBis
Group A1 (Wanzenboeck)15.09.2021 06:0001.11.2021 23:55
Group A2 (Wanzenboeck)01.09.2021 06:0001.12.2021 23:55
Gruppe A3 (Wanzenboeck)01.09.2021 09:0003.02.2022 22:00
Gruppe B (Lugstein)01.09.2021 09:0003.02.2022 22:00
Gruppe C1 (Sistani)01.09.2021 09:0003.02.2022 22:00
Gruppe C2 (Sistani)30.09.2021 00:00
Gruppe C3 (Sistani)30.09.2021 00:00

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Vorlesung Prozesstechnologie 362.144 empfohlen.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch