362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019W, UE, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: UE Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

die grundlegenden Methoden der Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken für Halbleiterbauelemnte zu verstehen.

durch eigene experimentelle Tätigkeiten den das Prinzip der Techniken zu erfassen.

selbständig Mikroelektronik-Experimente nach vorheriger Einschulung durchzuführen

Physikern und Chemikern bietet dieser Laborkurs die Möglichkeit erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Technik der Mikrofabrikation zu gewinnen. 

Inhalt der Lehrveranstaltung

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN

auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK

Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Methoden

 Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:       auf Basis eines Laborberichtes

 

...Lehrende, die an diesem Termin nicht teilnehmen können, finden unter dem Link https://owncloud.tuwien.ac.at/index.php/s/9Dki75euZK8prTM einen Leitfaden mit Schritt-für-Schritt Anleitung sowie zwei Präsentationen die einerseits die strategischen Überlegungen und andererseits die zugrundeliegenden hochschuldidaktischen Grundlagen darstellen. Weiters wurden auch in TISS Hilfetexte und Formulierungshilfen für Sie implementiert. ….

 

Prüfungsmodus

Schriftlich

Weitere Informationen

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.
Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

Anmeldeemail mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084)  an

an      alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder   heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mo.14:00 - 14:3007.10.2019Besprechungsraum 362 - 2 Laborpraktikum - Wanzenböck - VORBESPRECHUNG

Leistungsnachweis

Laborprotokoll

 

Gruppentermine

GruppeTagZeitDatumOrtBeschreibung
Gruppe A (Wanzenboeck)11:00 - 19:0016.01.2020 - 17.01.2020 Treffpunkt - Nano-Center 2.Stock Besprechungsraum 352362.084 UE Labor Mikroelektronik- Technologie - Gruppe A (Wanzenboeck)
Gruppe B (Lugstein)09:00 - 17:0017.02.2020 - 18.02.2020 Treffpunkt - Nano-Center 2.Stock Besprechungsraum 352362.084 UE Labor Mikroelektronik- Technologie - Gruppe B (Lugstein)
Gruppe C (Wanzenboeck)09:00 - 17:0012.02.2020 - 13.02.2020 Treffpunkt - Nano-Center 2.Stock Besprechungsraum 352362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie Gruppe C (Wanzenboeck)
Gruppe D (Lugstein)09:00 - 17:0024.02.2020 - 25.02.2020 Treffpunkt - Nano-Center 2.Stock Besprechungsraum 352362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie - Gruppe D (Lugstein)

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
26.09.2019 09:00 06.02.2020 21:00

Anmeldemodalitäten:

Institut für Festkörperelektronik, Floragasse 7 - 1 Stock, Seminarraum 1 Ort: Vorbesprechung

Gruppen-Anmeldung

GruppeAnmeldung VonBis
Gruppe A (Wanzenboeck)26.09.2019 09:0006.02.2020 22:00
Gruppe B (Lugstein)26.09.2019 09:0006.02.2020 22:00
Gruppe C (Wanzenboeck)31.12.2019 22:0030.01.2020 22:00
Gruppe D (Lugstein)31.12.2019 22:0030.01.2020 22:00

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Vorlesung Prozesstechnologie 362.144 empfohlen.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch