Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie
Dauer: 3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich) Beginn: nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich) Gruppe: max. 3 Studenten Note: auf Basis eines LaborberichtesDiese praktische Laborübung soll den Studierenden die Möglichkeit, Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken zu erleben. Dieses Praktikum ist ideal, um die Kenntnisse der LVAs 362.144 , 362.152, 362.146 zu vertiefen.Auch idealer Einführungskurs für Physiker und Chemiker, um erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Techniken der Mikrofabrikation zu gewinnen. (Für Interessierte werden ergänzend auch die längeren Projektarbeitet 362.092 angeboten).
Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung
Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN
auf Anfrage
Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)x) weitere Themen auf Anfrage möglich
Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt. Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten. Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.
Anmeldeemail mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084) an
an alois.lugstein@tuwien.ac.at
oder heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at
Laborprotokoll
Institut für Festkörperelektronik, Floragasse 7 - 1 Stock, Seminarraum 1 Ort: Vorbesprechung
Vorlesung Prozesstechnologie 362.144 empfohlen.