362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2018W, UE, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: UE Übung

Ziele der Lehrveranstaltung

Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:       auf Basis eines Laborberichtes

Diese praktische Laborübung soll den Studierenden die Möglichkeit, Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken zu erleben. Dieses Praktikum ist ideal, um die Kenntnisse der LVAs 362.144 , 362.152, 362.146 zu vertiefen.

Auch idealer Einführungskurs für Physiker und Chemiker, um erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Techniken der Mikrofabrikation zu gewinnen. (Für Interessierte werden ergänzend auch die längeren Projektarbeitet 362.092 angeboten).

Inhalt der Lehrveranstaltung

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN

auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK

Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Weitere Informationen

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.
Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

Anmeldeemail mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084)  an

an      alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder   heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Mo.14:00 - 14:3001.10.2018Besprechungsraum 362 - 2 Laborpraktikum - Wanzenböck - VORBESPRECHUNG

Leistungsnachweis

Laborprotokoll

 

Gruppentermine

GruppeTagZeitDatumOrtBeschreibung
Gruppe A (Wanzenboeck)11:00 - 19:0017.01.2019 - 18.01.2019 Treffpunkt - Nano-Center 2.Stock Besprechungsraum 352362.084 UE Labor Mikroelektronik- Technologie - Gruppe A (Wanzenboeck)
Gruppe B (Lugstein)09:00 - 17:0011.02.2019 - 12.02.2019 Treffpunkt - Nano-Center 2.Stock Besprechungsraum 352362.084 UE Labor Mikroelektronik- Technologie - Gruppe B (Lugstein)
Gruppe C (Wanzenboeck)09:00 - 17:0013.02.2019 - 14.02.2019 Treffpunkt - Nano-Center 2.Stock Besprechungsraum 352362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie Gruppe C (Wanzenboeck)
Gruppe D (Lugstein)09:00 - 17:0018.02.2019 - 19.02.2019 Treffpunkt - Nano-Center 2.Stock Besprechungsraum 352362.084 Labor Mikroelektronik- Technologie - Gruppe D (Lugstein)

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
20.09.2018 09:00 31.01.2019 21:00

Anmeldemodalitäten:

Institut für Festkörperelektronik, Floragasse 7 - 1 Stock, Seminarraum 1 Ort: Vorbesprechung

Gruppen-Anmeldung

GruppeAnmeldung VonBis
Gruppe A (Wanzenboeck)20.09.2018 09:0031.01.2019 22:00
Gruppe B (Lugstein)20.09.2018 09:0031.01.2019 22:00
Gruppe C (Wanzenboeck)01.01.2019 22:0031.01.2019 22:00
Gruppe D (Lugstein)01.01.2019 22:0031.01.2019 22:00

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Vorlesung Prozesstechnologie 362.144 empfohlen.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Weitere Informationen

  • Anwesenheitspflicht!

Sprache

Deutsch