Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:       auf Basis eines Laborberichtes

Diese praktische Laborübung soll den Studierenden die Möglichkeit, Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken zu erleben. Dieses Praktikum ist ideal, um die Kenntnisse der LVAs 362.144 , 362.152, 362.146 zu vertiefen.

Auch idealer Einführungskurs für Physiker und Chemiker, um erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Techniken der Mikrofabrikation zu gewinnen. (Für Interessierte werden ergänzend auch die längeren Projektarbeitet 362.092 angeboten).

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN

auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK

Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.
Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

Anmeldeemail mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084)  an

an      alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder   heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Laborprotokoll

Vorlesung Prozesstechnologie 362.144 empfohlen.