Praktische Einführung in Basistechnologien in der Halbleiterindustrie

Dauer:    3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)
Beginn:   nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)
Gruppe:  max. 3 Studenten
Note:      auf Basis eines Laborberichtes

Diese praktische Laborübung soll den Studierenden die Möglichkeit, Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken zu erleben. Dieses Praktikum ist ideal, um die Kenntnisse der LVAs 362.144 , 362.152 , 362.146 zu vertiefen.

Auch idealer Einführungskurs für Physiker und Chemiker, um erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Techniken der Mikrofabrikation zu gewinnen. (Für Interessierte werden ergänzend auch die längeren Projektarbeitet 362,092 angeboten).

Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakteriseirungstechniken in der Halbleiterfertigung und Mikrostrukturierung

Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN
auf Anfrage

Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):
x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *
x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *
x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *
x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)
x) weitere Themen auf Anfrage möglich

Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt.
Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.

Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.

an             alois.lugstein@tuwien.ac.at

oder          heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Laborprotokoll

Anmeldung per email an:

alois.lugstein@tuwien.ac.at             oder 

heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at

Anmeldeemail mit Überschrift "Anmeldung 362.084 Labor Mikroelektronik"
+ Name, + Matrikelnummer +Zeitrahmen f Labor

Empfohlen in Kombination mit
362.144  VO Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik
362.152 VU Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik
362.146 VU Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik