Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

... im Reinraum experimentelle Fertigungsverfahren unter Aufsicht durchführen
... im Reinraum Abscheidungen oder Ätzprozesse mit dem Elektronenstrahl oder Ionenstrahl durchzuführen
    (zB Querschnitte durch Schaltungen zu präparieren, Nanomagneten oder plasmonische 3D Goldstrukturen herzustellen)
... selbständig Strategien zur 3D Nanostrukturierung zu entwickeln
... diese partikelstrahlinduzierten Fertigungsmethode mit anderen etablierten Methoden zu kombinieren und anzuwenden
... die Anforderungen an Diplomarbeiten im Bereich der Halbleitertechnologie zu verstehen
... eine qualifizierte Entscheidung zu treffen, um das laufende Forschungsthema im Rahmen einer Masterarbeit weiter zu bearbeiten

Spezialisierte Reinraumlaborkurse unter Verwendung des Fokussierten Ionenstrahls (FIB) und / oder des fokussierten Elektronenstrahls (FEB) des Zeiss-Crossbeam-systems zur additiven oder subtraktiven Herstellung von Nanostrukturen.


In diesem Praktikum lernen die Studierenden eine Schlüsseltechnologie der modernen Siliziumtechnologie kennen, die Nanostrukturierung mit fokussierten Ionen- und Elektronenstrahlen. Nach dem obligatorischen Sicherheitstraining werden die Auszubildenden in die Arbeit unter Reinraumbedingungen eingeführt. Der Schwerpunkt des Praktikums liegt auf hochmodernen Ionen- oder Elektronenstrahlgeräten zur Herstellung nanometergroßer Strukturen auf Siliziumwafern, den sogenannten "Direct Write Technologies". Darüber hinaus erwerben die Teilnehmer die notwendigen Grundkenntnisse zur chemischen und physikalischen Charakterisierung dieser Strukturen und zum Aufbau einfacher Teststrukturen zur elektrischen Charakterisierung. Der Abschluss der Arbeit ist eine Praktikumsarbeit, die ein in sich geschlossenes Thema hat, um das erlangte Wissen gezielt einzusetzen.

persönliche 1: 1-Gespräche, selbständiges Studium der Literatur, 1: 1-Gerätetraining, selbständiges experimentelles Arbeiten, Verfassen eines wissenschaftlichen Berichts

Speziallabor mit 1:1 Betreuung im Reinraum - ideal als "Schnupperpraktikum" vor dem Beginn einer Diplomarbeit

prüfunsimmanent, mündlich

persönlich