Lehrziel dieses Praktikums ist die Kenntnis und der Umgang mit einer Schlüsseltechnologie der modernen Siliziumtechnik, der Nanostrukturierung mit fokussierten Ionen- und Elektronenstrahlen.

In diesem Praktikum werden die Studenten mit einer Schlüsseltechnologie der modernen Siliziumtechnik bekannt gemacht, der Nanostrukturierung mit fokussierten Ionen- und Elektronenstrahlen. Nach einer obligatorischen Sicherheitseinschulung werden die Praktikumsteilnehmer in das Arbeiten unter Reinraumbedingungen eingeführt. Schwerpunkt dieses Praktikums ist das Arbeiten an modernsten Ionen- bzw. Elektronenstrahlgeräten zur Erzeugung von nanometergroßen Strukturen auf Siliziumwafern, den sogenennten "direct write technologies". . Daneben erwerben die Teilnehmer die notwendigen Grundkenntnisse zur chemischen und physiklalischen Charakterisierung dieser Strukturen und zum Aufbau einfacher Teststrukturen zur elektrischen Charakterisierung. Den Abschluss der Arbeiten bildet eine Praktikumsarbeit, die ein in sich geschlossenes Thema zum Ziel hat in dem die erworbenen Kenntnisee eingesetzt werden können.