Das Verständnis von Zuverlässigkeitsproblemen erfordert ein Wissen in mehreren Gebieten, welche im Grundstudium ETIT nur gestreift werden. Dies liegt daran, dass in Zuverlässigkeitsproblemen nicht nur eine hinreichend genaue Beschreibung der Elektronen wichtig ist, sondern zusätzlich noch das Verhalten der Atome näher betrachtet werden muss, da auf Grund von Stressbedingungen chemische Bindungen gebrochen werden. Dieses Zusammenspiel der Elektronen und Kerne ist essentiell für das Verständnis vieler relevanter elektro-chemischer Reaktionen. Des weiteren sind moderne Bauelemente so klein, dass einzelne Defekte einen signifikanten Einfluss auf das Bauelementverhalten haben können und daher z.B. als Schwellspannungsverschiebung oder Beweglichkeitsreduktion sichtbar werden. Die Erzeugung dieser Defekte kann mit stochastischen Prozessen (Markov Prozessen) beschrieben werden. Diese VU vermittelt nun die theoretischen Grundlagen aus den Gebieten der Festkörperphysik, Chemie und Wahrscheinlichkeitsrechnung, welche für das Verständnis von Zuverlässigkeitsproblemen wichtig sind.
Schlagwörter: Idealisiertes im Vergleich zum realen Bauelementverhalten, Variabilität, ideale Kristalle und Grenzflächen im Vergleich zu realen Strukturen, Defekte, Grundlagen Defektphysik, Grundlagen chemischer Reaktionen und stochastische/deterministische Beschreibungsmethoden, Interaktion Defekte/Bauelement, wichtige Degradationsphenomäne (NBTI/PBTI, hot carriers, TDDB), Rauschen (RTN, 1/f).
