360.232 Mikroelektronik Zuverlässigkeit: Prozess
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2020S, VU, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage

  • materielle und strukturelle Degradationsmechanismen in modernen 3D integrierten Schaltungen zu beschreiben.
  • das Ausfallverhalten von Bauelementen physikalisch zu modellieren.
  • die Zuverlässigkeit integrierter Schaltungen  unter Zuhilfenahme einer TCAD Software zu optimieren.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Grundlagen der Herstellung von Metallisierungen und Verdrahtungsstrukturen, mechanische und elektrische Degradationsprozesse, Bewertungsmethodik von Zuverlässigkeitsaspekten, statistische Analyse des Ausfallverhaltens, Untersuchungen zu mikrostrukturellen Aspekten polykristalliner Metallisierungen, mechanische Degradation des Inter-Metal-Dielektrikums, Zuverlässigkeitsprobleme bei Verdrahtungsstrukturen für die 3D Integration (through-silicon-vias/solder bumps), physikalische Grundlagen von Elektromigration und Stressmigration, Modellierung der Elektromigration und Stressmigration,  TCAD Analyse von Elektromigration und Stressmigration sowie die Optimierung von Metallisierungen und Verdrahtungsstrukturen.

Methoden

Vortrag, vertiefende Ausarbeitung eines Teilgebiets der Vorlesung mit anschließender Präsentation.

Prüfungsmodus

Mündlich

Weitere Informationen

Zeit und Ort der Lehrveranstaltung:
Dienstag, 14:00 - 16:00 Uhr
Seminarraum E360, Gußhausstraße 27-29, Stiege 1, 5. Stock, Raum CD 0520
Vorbesprechung und Beginn: 10. März 2020

Vortragende

Institut

Leistungsnachweis

Mündliche Prüfung nach positiver Abgabe der Seminararbeit.

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
01.03.2020 20:00 01.04.2020 23:00 01.04.2020 23:00

Curricula

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Sprache

Deutsch