Allgemeines: Die Vorlesung soll hauptsächlich die theoretischen Aspekte moderner physikalischer und chemischer Beschichtungsverfahren vermitteln. Allerdings wird auch Wert wird auf den Konnex zwischen den theoretischen Grundlagen und den praktischen Anwendungen von Beschichtungsverfahren gelegt. Besonderes Augenmerk wird modernen Verfahren zur Charakterisierung von Schichteigenschaften gewidmet. Weiters werden die physikalischen Grundlagen der oftmals stark vom dreidimensionalen Festkörper abweichenden Eigenschaften dünner Schichten diskutiert. Zeitplan: Theorie und Computermodellierung von Schichtbildung und von Beschichtungsprozessen; Prozesskontrolle und Charakterisierung dünner Schichten; physikalische Eigenschaften dünner Schichten. Zusätzlich zu dieser Vorlesung kann ein 2-stündiges Kurzpraktikum, "Physik Dünner Schichten", im Winter- oder Sommersemester absolviert werden. In diesem Kurzpraktikum können selbstständig Experimente mit verschiedenen physikalischen Beschichtungsverfahren durchgeführt werden.
