Einführung in die Material- und Technologieaspekte von Silizium-Bauelementen. Betrachtung der Mikrostruktur der eingesetzten Materialien. Einsatz der Transmissions-Elektronenmikroskopie.
Grundzüge zur Funktion von SI - Bauelementen, Silizium-Grundmaterial, Dotierung, Implantationsschäden, Kristallgitterdefekte, Oxidation, Dielektrika, Metallisierungen (poly-Si, Al, W, Ti, TiN, Cu)