133.043 Physik der Silizium-Halbleiter-Materialien
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2019S, VO, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VO Vorlesung

Ziele der Lehrveranstaltung

Einführung in die Material- und Technologieaspekte von Silizium-Bauelementen. Betrachtung der Mikrostruktur der eingesetzten Materialien. Einsatz der Transmissions-Elektronenmikroskopie.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Grundzüge zur Funktion von SI - Bauelementen, Silizium-Grundmaterial, Dotierung, Implantationsschäden, Kristallgitterdefekte, Oxidation, Dielektrika, Metallisierungen (poly-Si, Al, W, Ti, TiN, Cu)

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Di.12:00 - 13:0005.03.2019FH Hörsaal 6 vorb

LVA-Anmeldung

Anmeldemodalitäten:

Freihaus Hörsaal 6 (Vorbesprechung)

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
066 461 Technische Physik
810 Technische Physik

Literatur

Ein Skriptum zur Lehrveranstaltung ist erhältlich.

Sprache

Deutsch