133.043 Physik der Silizium-Halbleiter-Materialien
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2020S, VO, 2.0h, 3.0EC

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VO Vorlesung

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage die eingesetzten Materialien d.h. Silizium-Ausgangsmaterial, Dotierstoffe, Dielektrika und Metalle zu analysieren und die Siliziumbauelemente zu erklären und zu bewerten. Sie können die Zusammenhänge von physikalischer Funktion des Bauelements und Materialmechanismen an Grenzflächen, bei Reaktionszonen, Kristalldefekten und Materialmigrationen interpretieren und beurteilen.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Grundzüge zur Funktion von SI - Bauelementen, Silizium-Grundmaterial, Dotierung, Implantationsschäden, Kristallgitterdefekte, Oxidation, Dielektrika, Metallisierungen (poly-Si, Al, W, Ti, TiN, Cu)

Methoden

Die Themen werden in einer Vorlesung basierend auf dem zugehörigen Skriptum behandelt.

Prüfungsmodus

Mündlich

Vortragende

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
Di.12:00 - 13:0003.03.2020FH Hörsaal 6 - TPH vorb

Leistungsnachweis

Mündliche Einzelprüfung am Ende des Semesters. Ungefähre Dauer: 30 Minuten

LVA-Anmeldung

Anmeldemodalitäten:

Freihaus Hörsaal 6 (Vorbesprechung)

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
066 461 Technische Physik
810 Technische Physik

Literatur

Ein Skriptum zur Lehrveranstaltung ist erhältlich.

Sprache

Deutsch